정밀 소스 측정 장치(SMU)

광범위한 작동 조건에서 정밀 측정
B1505A 전력 디바이스 분석기/커브 트레이서
최대 1500 A 및 10 kV
최하 10 μs까지 고전력 펄스형 측정
- pA 미만부터 최고 10 kW와 1500 A까지의 전류-전압(IV)을 지원할 수 있는 통합 솔루션
- DC 바이어스 최고 3,000 V까지의 커패시턴스-전압(CV)
- 10 μs 고전력 펄스 측정
- μΩ 온저항 측정 기능
- 전압 전류 펄스 확인이 가능한 오실로스코프 뷰
- MS Windows 기반의 EasyEXPERT 소프트웨어로 데이터 관리 및 데이터 분석 단순화
- 업그레이드와 확장 가능한 하드웨어 아키텍처
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  • 상세설명
    광범위한 작동 조건에서 정밀 측정
    - 최대 1500A 및 10kV까지 전력 디바이스 특성분석을 위한 통합 올인원 솔루션
    - 고전압 바이어스를 통한 중전류 측정(예: 1200V에서 500mA)
    - μΩ 온저항 측정 기능
    - 고전압 바이어스에서 정확한 sub-picoamp 레벨 전류 측정
    - -50℃~+250 ℃ 범위의 온도를 완벽히 자동 테스트

    광범위한 디바이스 평가 기능
    - 최고 3000V에 이르는 DC 바이어스에서 완전 자동화된 커패시턴스(Ciss, Coss, Crss, etc.) 측정
    - 최하 10μs까지 고전력 펄스형 측정
    - 패키지형 디바이스와 온웨이퍼 IGBT/FET 게이트 전하를 모두 측정
    - GaN 전류 붕괴 효과 특성화를 위한 고전압/고전류 고속 스위치 옵션
    - 고전압(3kV) 소스/측정 채널 최대 5개로 유연성 극대화
    - 인터록이 장착된 테스트 픽스처를 통해 안전한 가변 온도 테스트

    개선된 측정 효율성
    - 재 케이블링 없이 고전압과 고전류 측정 사이의 전환
    - 패키지형 디바이스와 온웨이퍼 디바이스 둘 모두의 트랜지스터 접합 커패시턴스(Ciss, Coss, Crss, Cgs, Cgd, Cds 등)를 위한 자동 테스트 회로 형성
    - 안전 인터록을 제공하는 표준 테스트 픽스처로 패키지된 전력 디바이스 테스트 지원
    - 200A 상에서 최대 10kV까지 안전한 온웨이퍼 고전력 테스팅
    - 적용된 전압과 전류 파형 검증을 지원하는 오실로스코프 디스플레이
    - MS Windows 기반의 EasyEXPERT 소프트웨어로 데이터 관리 및 데이터 분석 수월

    업그레이드 및 확장이 가능한 하드웨어 아키텍처
    - 광범위한 측정 모듈 선택의 폭
    - 최대 6 핀의 고전력 디바이스 지원

    키사이트 B1505A 전력 디바이스 분석기/커브 트레이서는 sub-picoamp 레벨에서 최대 10kV 및 1500A까지 고전력 디바이스의 특성 분석 기능과 사용할 수 있는 유일한 단일박스 솔루션입니다. 이 기능을 이용하면 IGBT 같은 새로운 디바이스와 GaN 및 SiC 같은 재료를 평가할 수 있습니다. B1505A는 고전압 SMU(HVSMU), 고전류 SMU(HCSMU), 초고전류(UHC) 모듈, 초고전압(UHV) 모듈 및 고전압 중전류(HVMC) 모듈 등 다양한 모듈을 지원합니다. 또한 B1505A는 고전력 SMU(1A/200V), 중전력 SMU(100mA/100V), 중전류 SMU(1A/30V 펄스형, 100mA/30V DC) 및 다중 주파수 캐패시턴스 측정 장치(1kHz – 5MHz)도 지원합니다. B1505A의 10슬롯 모듈러 메인프레임을 이용하면 B1505A를 사용자의 측정 요구에 맞게 구성할 수 있습니다.

    고전압 바이어스(최고 3000V)에서 Ciss, Coss 및 Crss와 같은 완전 자동화 커패시턴스 측정을 수행할 수 있고 고주파수 스위칭 컨버터 시대의 또 다른 중요한 파라미터인 게이트 전하도 손쉽게 분석할 수 있습니다. -50℃~+250℃ 범위에서 자동 온도 특성 분석도 지원합니다.

    B1505A 소프트웨어 환경은 Microsoft Windows 7 운영 체제를 기반으로 하며, 이 환경에서는 사용자들이 디바이스 특성을 확인하고 편리한 커브 트레이서로 디바이스 결함을 검출할 수 있습니다. 기존의 커브 트레이서와 마찬가지로 B1505A는 회전식 노브 제어 가변 스위프 기능을 지원합니다. 따라서 항복 전압 같은 파라미터를 실시간으로 평가할 수 있습니다. 또한 작업자가 디바이스에 적용되는 전압 및 전류를 최적화할 수 있도록 시각적으로 도와주는 “오실로스코프 뷰”도 지원됩니다. 측정 셋업 정보 및 데이터는 자동으로 B1505A의 내장 하드 디스크 드라이브에 저장되며, USB 메모리 스틱 및 기타 휴대용 스토리지 디바이스에 복사할 수도 있습니다. 측정 데이터는 디바이스 측정 요약과 함께 엔지니어링 보고서에 쉽게 복사할 수 있습니다.

    다양한 전력 디바이스 패키지 유형을 지원하는 것은 물론 (생성된 높은 전압 및 전류 때문에) 작업자 안전을 보장하려면 강력한 테스트 픽스처 솔루션이 매우 중요합니다. 이전의 기존 커브 트레이서 제약이라고 한다면 크기 때문에 일부 전력 디바이스를 평가할 수 없었으며 경우에 따라서는 디바이스 테스트를 위해 어댑터를 임시 방편으로 사용해야 했다는 점이었습니다. 그러나 B1505A의 테스트 픽스처는 크기나 모양에 관계없이 전력 MOSFET, 다이오드, IGBT 등과 같은 다양한 디바이스를 사용할 수 있습니다. 이는 맞춤 가능한 테스트 픽스처 모듈로 대형 테스트 픽스처 어댑터를 통해 가능합니다. 게다가, 테스트 픽스처의 내장 인터록 메커니즘은 높은 전압과 전류를 테스트 디바이스에 안전하게 적용인가될 수 있도록 보장합니다.

    키사이트는 기존 B1500A 사용자들이 B1500A 메인프레임을 B1505A 메인프레임으로 변환할 수 있도록 해주는 변환 키트를 제공합니다. 이로써 현재 B1500A 사용자들은 저렴한 비용에 기존 계측기의 전압 및 전류 측정 기능을 확장할 수 있습니다.
  • 기술사양
    측정 리소스 필수 모듈/익스펜더 필요한
    슬롯 수    		 주요 사양
    고전력 SMU (HPSMU) B1510A HPSMU 2 최대 200 V, 1 A 힘,
    10 fA 전류 분해능
    중전류 SMU (MPSMU) B1511A MPSMU 1 최대 100 V, 100 mA 힘,
    10 fA 전류 분해능
    고전류 SMU (HCSMU) B1512A HCSMU 2 20 A/20 V(펄스형),
    1 A/40 V(DC) *
    고전압 SMU (HVSMU) B1513B HVSMU 2 1500 V/8 mA, 3000 V/4 mA, (펄스형 및 DC)
    중전류 SMU (MCSMU) B1514A MCSMU 1 1 A/30 V(펄스형),
    100 mA/30 V (DC)
    다중 주파수 커패시턴스
    측정 장치 (MFCMU)    		 B1520A MFCMU 1 1 kHz ~ 5 MHz. 0 ~ ± 25 V
    (MFCMU 내부 DC 바이어스 사용 시)
    고전압 중전류 장치 (HVMCU) M1266A, B1513B, 2 x B1514A 4 ± 1500 V/2.5 A (펄스형),
    ± 2200 V/1.1 A (펄스형)
    초고전류 장치 (UHCU) N1265A, 2 x B1514A 2 1500 A/60 V (펄스형),
    22.5 kW 피크 전력
    초고전압 장치 (UHVU) N1268A, 2 x B1514A 2 10kV/10mA(DC),
    10kV/20mA(펄스형)