메인 프레임 | |
모델 | 사양 |
E5260A 고속 측정 메인 프레임 | 슬롯: 8개 GND 싱크: 4 A |
E5262A 2채널 고속 소스/모니터 장치 | 고정 구성: 2 x E5291A GND 싱크: 2.2 A |
E5263A 2채널 고속 소스/모니터 장치 | 고정 구성: 1 x E5290A, 1 x
E5291A GND 싱크: 2.2 A |
E5270B 고정밀 측정 메인 프레임 | 슬롯: 8개 GND 싱크: 4 A |
E5260A 모듈 | ||||||
모듈 | 설명 | 최대 강제 V | 최대 강제 I | 전압 측정 분해능 | 전류 측정 분해능 | 필요한 슬롯 수 |
E5290A | 고속 타입 고전력 SMU 모듈 | ± 200 | ± 1 | 100 μV | 5 pA | 2 |
E5291A | 고속 타입 중전력 SMU 모듈 | ± 100 | ± 0.2 | 100 μV | 5 pA | 1 |
E5270B 모듈 | ||||||
모듈 | 설명 | 최대 강제 V | 최대 강제 I | 전압 측정 분해능 | 전류 측정 분해능 | 필요한 슬롯 수 |
E5280B | 정밀 고전력 SMU 모듈 | ± 200 | ± 1 | 2 μV | 10 fA | 2 |
E5281B | 정밀 중전력 SMU 모듈 | ± 100 | ± 0.1 | 0.5 μV | 10 fA | 1 |
E5287A | 고속 Atto 레벨 고분해능 SMU 모듈 | ± 100 | ± 0.1 | 0.5 μV | 1 fA | 1 |
E5288A | Atto 레벨 고분해능 SMU 모듈용 Atto 감지 및 스위칭 장치 (ASU) |
± 100 | ± 0.1 | 0.5 μV | 0.1 fA | N/A |